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高精密平面研磨机加工石英晶片的半固结磨具新技术

时间:2015-03-30 09:18:00   来源:深圳方达研磨技术有限公司  打印本文  点击量:

高精密平面研磨机加工石英晶片的半固结磨具新技术
   对于石英晶体精密加工而言,防止划痕、裂纹等表面损伤和提高研磨效率是一对矛盾,平面研磨机的半固结模具新技术是加工效率得到了有效地提升。
   按照传统的平面研磨机游离磨粒加工,由于工件与磨具之间的磨粒粒度实际不均匀,较大尺寸的磨粒或从工件上脱落的尺寸较大的磨削容易进入加工区,使得无论是硬质研磨盘还是软质盘,大颗粒与磨粒的载荷不同,容易导致工件的表面损伤。
平面研磨机外观
   平面研磨机的半固结磨料磨具和普通磨具在结构上比较类似,由磨粒、孔隙、结合剂组成,但组合剂强度不大,当硬质大颗粒进入加工区时,研磨盘上大颗粒周围磨粒可产生位置迁移,形成“陷阱”空间,使大颗粒与磨粒趋于等高。使得载荷变化小,表面损伤也相对较低。
   通过实践表明,半固结磨具的整个加工工艺,加工效率大大优于游离磨粒磨具。

   由于石英晶片的基频与表面质量直接相关,石英晶片超精密平面研磨机半固结磨粒磨具加工技术,使石英晶片表面质量有望得到提高。石英晶片的基频,也因此得到了稳定及提高。


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